快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。
RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用,适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。
仪器特点:
- 最高工艺温度:650摄氏度;
- 加热区域:200mm x 170mm;
- 高性价比;
参考用户:
中电13所等。
请扫描二维码查看详细参数
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。