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先锋科技光谱部件及外设, 软X射线探测器分为AXUV系列,SXUV系列 ,UVG系列 这三个系列,其中AXUV系列适用于真空紫外、极紫外和软X射线探测器。SXUV系列探测器是专门为高通量的光子探测设计的,如配合使用在第三和第四代同步加速器和准分子激光器。该系列二极管由超大规模集成电路制造而成。UVG系列PN结光电探测器可以实现100%的光生载流子收集效率,所以被使用在近紫外和真空紫外(600--160nm)。
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