固体器件与集成技术教育部工程研究中心
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学科发展及主要研究开发领域:
清华大学微纳电子系\微电子所学科发展的目标是形成比较完善的硅基微纳电子器件研究体系，确定了4条科研主干，即新材料新工艺新器件；高性能集成电路；先进封装和系统集成；传感器与集成系统，凝练出9个重点科研方向：
①射频集成电路和医疗微电子；
②可重构通用处理器；
③新型半导体存储器；
④纳米CMOS器件与集成技术；
⑤模型、模拟和CAD技术；
⑥国防和信息安全集成电路；
⑦先进封装和系统集成技术；
⑧硅基智能传感器；
⑨量子信息技术。
