北京理工大学微纳技术中心
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为适应物理、材料、光机电等相关交叉学科研究的需求，探索在纳米尺度下物质的变化规律、新奇的物理性质和在信息、能源、生物等领域的应用，促进纳米科学与技术的发展，经北京理工大学党委常委会议研究，于2010年9月17日成立北京理工大学微纳技术研究中心。 北京理工大学微纳技术中心位于理工大学良乡校区理学楼C座，主要面向校内外提供相关的技术服务，将成为我校微纳加工技术和人才的交流的舞台，也将成为支撑北京理工大学微纳科学和技术发展的重要基地，目前中心已具备良好的基础设施条件和硬件设备。实验室总面积近800平米，分办公区、样品准备区、微加工区、光电测试区。实验室具备局部百级，总体千级的恒温恒湿超净环境，可以保证各种微纳器件的加工制作，包含电子束刻蚀、紫外曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备，以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备，可以完成微纳器件的光电性能的综合测试。 微加工实验室作为公共技术平台，它的主要任务是：适应纳米尺度器件制作和应用及各学科基础研究的多样性要求，以积极灵活的方式服务于北理工校内研究课题和国内外其它研究单位，以产生高水平的研究成果，促进我校及我国的基础物理与应用物理、微纳工程制造等领域的研究，促进我国微纳米科技的发展，成为我校以至国内微加工技术与学术交流和人才培养的重要基地。它将使北理工在凝聚态物理研究等方面的能力得到实质性提高，促进我国纳米物理与纳米器件物理的发展。同时微加工实验室开放的运行机制将为所内外的学术交流、合作研究提供便利条件和技术平台。
