陕西省微纳传感器工程技术研究中心
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西安交通大学陕西省微纳传感器工程技术研究中心，以院士和长江学者为学术带头人的研究团队组成，专门从事微纳传感器设计、制造和应用研究工作。根据军工、航空航天等领域的特殊需求，依托西安交通大学精密工程与测试技术研究所及机械制造系统工程国家重点实验室在特种MEMS传感器领域的技术、人才、设备优势，开展MEMS耐高温压力传感器、超高压压力传感器、高频响压力传感器、微型化压力传感器的设计、制造及产业化研究。中心在特种传感器研究方面，已授权国家发明专利50余项，获得国家技术发明二等奖1项和省部级科学技术一等奖4项。。
目前，中心拥有科研生产用房1100平方米，各类MEMS传感器封装测试设备总价值1500万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向，建设完成了专用的MEMS微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线，建立了完善的传感器测试平台，通过了ISO9000质量管理体系认证及GJB9001B-2009国军标体系认证。
