嘉庚创新实验室公共支撑平台
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1、亚洲首座无噪声超精密加工与表征实验室：为新材料及半导体器件研发提供接近理想条件的实验室平台，从而能够实现超精密加工的极限精度和测量表征的极限分辨率；
2、微纳加工平台：具备从晶圆清洗、薄膜制备、刻蚀、光刻图形加工、微纳结构表征及后道封装的全流程操作设备，可以为半导体、集成电路、平板显示、光电信息等行业提供一站式技术攻关和研发条件；
智算中心：瞄准新能源、新材料与半导体行业中材料与器件设计与研发中的难点建立，能够提供强大的算力资源，同时将厦大特色的材料合成与材料表征结合起来，提供一套厦大特色的算法与软件能力，可为大规模科学计算、模拟仿真、数据处理、分析存储等需求提供强有力的支撑
