电子探针射线显微分析和场发射扫描电镜有什么不同？
简单说说，可能不规范。
所谓的场发射扫描电镜是指，相较于传统的钨灯丝光源而言，其采用更了为先进的肖脱基场发射光源。采用场发射光源后电子束能量更强，二次电子相（也就是我们平时所说的扫描照片）更加清晰，放大倍数在理想的情况下可以达到10万倍以上。同时，在进行EBSD的测试中也具有相当的优势。
电子探针，即EPMA, 是一种元素成分的测试手段，其基本原理是通过激发物质的本征X射线，获取信号进行元素标定的。
单纯的从功能上来讲，电子探针可以看做扫描电镜的一个功能，即能谱成分测试（EDS，EDX）。在点扫的模式下，电子探针精度更高，同时打的点更小，测试更为精准。如果是进行线扫、面扫，EPMA也会有相对的分辨率优势。
值得指出的是，钨灯丝/场发射两种扫描电镜在EDS/EDX上区别不大，场发射电镜一般没有明显优势。当然，这也要结合具体的情况进行分析。
或者说：EPMA>场发射=钨灯丝
总结一下，你要是想测定一小块区域（这个大小还和操作人员有关）的精确成分，可以选用EPMA。这个设备一般也自配一个扫描电镜（用于测试），但精度较低，没有扫描电镜其他功能（BSE、EBSD等）。
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