X射线荧光分析显微镜的技术参数
1.测量元素：Na—U；
2. X射线管：铑（Rh）靶/管电压50 kV /管电流1 mA；
3. X射线荧光检测器：SDD硅漂移检测器；
4.透过X射线检测器：NaI（Ti）晶体；
5. X射线导管：单毛细管10μm / 100μm无滤光片；
6.光学图像：样品整体光学像及共轴放大图像；
7.样品台尺寸：100 mm×100 mm（X×Y）；
8.样品仓：全真空模式/最大真空300 mm×300 mm×80 mm；
9.样品尺寸：10μm2—10 cm2；
10.信号处理：数值脉冲处理器（INCA处理器）。
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