电磁驱动的运动精度
由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素，以及如何实现长行程、大推力和高响应等问题都值得深入研究。微动台的结构是电磁驱动单元和位置检测单元安装的主体，是微动台稳定工作的基础。现有的电磁微动台在设计上虽然也以质量轻、结构紧凑、工艺性好和便于控制等为设计准则，但在如何保证质心驱动，散热和减少磁力耦合等方面考虑不够，因此鉴于上述方面设计更加合理和新颖的结构是提高工作台性能的重要途径之一。电磁式微动台除了本身结构之外，其定位精度和响应速度，主要是靠控制系统来完成的。现今的电磁力的控制系统大多基于电流控制模式，在这种控制模式中忽略了线圈电感对电流变化的抑制作用，若线圈中电流的变化过于剧烈时，系统中实际电流与参考电流之间将出现较大误差，影响定位精度。因此，为获得高性能的电磁力控制系统，必须从电磁力的电压方程出发建立更能准确体现微动台电磁特性的数学模型，以设计电磁微动台的控制系统。除此之外，可充分借鉴其他的控制原理和方法，如矢量控制理论、推力脉动抑制方法等。
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