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皮拉尼型真空计的应用范围和性能特点

2021.6.25

  应用范围

  化学工业

  电子与微电子领域

  气相沉积

  电子束焊接

  真空冶金

  性能特点

  优点:

  较大的测量范围

  较好的重现性

  制作成本较低,价格比较合适

  较快的相应时间

  缺点:

  不同的气体类型影响测量精度(通常要以氮气或空气校准)

  测量对污染敏感的

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