电子探针的结构原理
（1）电子光学系统。电子束直径0.1～1μm，电子束穿透深度1～3μm。
被激发原子发射特征X射线谱过程如下：围绕原子核运动的内层电子，被电子束的电子轰击后，其他外层电子为补充轰击出的电子而发生跃迁，在跃迁过程中释放出能量，即发射出X射线。
（2）X射线谱仪。测量各种元素产生的X射线波长和强度，并以此对微小体积中所含元素进行定性和定量分析。
特征X射线图像显像管的原理是：X射线束入射到一已知晶面间距的晶体上（X射线分光光度计的弯曲晶体上），经衍射后各种波长的X射线按不同的布拉格角彼此分开，因此如转动晶体，改变衍射角，同时以两倍于晶体的转速转动计数器，就可以依次测量出各种元素所产生的X射线波长和强度，达到定性和定量分析的目的。
（3）X射线强度测量系统。特征X射线，由B系统中的计数管接收，并转换成电脉冲，通过脉冲高度分析仪、计数率计、定标器、电子电位计将其强度测量出来。
（4）光学显微镜目测系统。用以准确选择需要分析的区域，并作光学观察。
（5）背散射电子图像系统。
（6）吸收电子图像系统。
（7）特征X射线图像系统。电子探针的技术核心是利用X射线晶体光学，主要应用两种方法：
1）晶体衍射法（X射线光谱法）。利用晶体转到一定角度，来衍射某种波长的X射线，通过读出晶体不同的衍射角，求出X射线的波长，从而定出样品所含的元素。
2）X射线能谱分析法。无须分析晶体，而直接将探测器接收的讯号加以放大，进行脉冲幅度分析，通过选择不同的脉冲幅度来确定入射x射线的能量，从而区分不同的特征X射线。计算时应用布拉格方程：nλ=2dsinθ。
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