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EDS图中为什么有时候有的峰测不出元素

2021.11.24

。。。“故一种元素可能有不止一个层的电子激发出来,而出现对应的峰。。。”

EDS 检出对象是被激发出来的内层电子吗?那不成了X光电子能谱了吗?
EDS 检出的是X荧光,检测器将各元素的X荧光按能量分开成谱。由于有些元素的K带X光可能跟样品中其它元素的,譬如,L带X光能量相同。这样,按能量分布成的谱就有信号重叠,给元素分析带来困难。 另外,若是固态样品,有时还会出现X光的“二次吸收”,“二次激发”等现象。形状不均匀,样品对释放出的X光信号还会有吸收的各向异性。这些都会造成观测误差。

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