主要技术指标： 光栅刻线: 3600条/mm 波长扫描范围: 190nm～500nm
焦距: 1M
主要工作参数： 等离子气流量: 650 L/h 载气压力: 0.2MPa 流量: 20L/h 功率: 综合考虑15个元素将功率调整为 1.0KW
观察高度: 用仪器诊断功能将仪器观察高度上下左右调到信号最佳 分析软件测试方式: 高斯拟合法多元素同时测试
1.2 仪器配置及附属设备
1.2.1 ICP2000仪器配置及附属设备：
1.2.1.1 ICP2000仪器配置：
包括： ICP2000 1台
10kVA交流稳压电源 1台
循环冷却水器 1台
1.2.1.2 ICP2000附属设备：
包括： 高纯氩气(99.99%) 两瓶/次