单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项
(一)停水
1)发生停水或水压报警时,先确认水压表是否偏低,水管和炉筒温度是否明显升高。
a、快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150MM。
b、关闭加热功率。
c、复位控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。
d、降低埚位到熔料埚位。
e、关闭埚转。
2)停水后水压恢复
a、冷却水恢复供应时,监控水压,有异常立即报告管理人员。
b、水压恢复时,炉内无严重氧化现象,熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于10分钟且石英坩埚未破裂,按加热功率开,调节功率到熔料功率。
c、启动埚转,设定为2转/分。
d、熔化结晶面,在此期间应密切炉内有无严重氧化现象,注意硅料液面熔化情况,一旦发生严重氧化现象、硅液面下降,立即停炉并上报管理人员。
e、待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功率温度稳定后,开始引晶。
3)停水后水压无法恢复,或恢复时熔体已结晶大于10分钟。
a、在熔体结晶15分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。
b、停炉,充分冷却后拆炉
(二)停电
1)若炉子工作时,加热部分停电。
a、复位控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。
b、降低埚位到熔料埚位。
c、关闭埚转。
d、加热部分恢复时,若时间较短,按加热功率开,将功率升至熔料功率。
e、启动埚转,设定为2转/分。
f、熔化结晶面,在此期间应密切炉内有无严重氧化现象,注意硅料液面熔化情况,一旦发生严重氧化现象、硅液面下降,立即停炉并上报管理人员。
g、待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功率温度稳定后,开始引晶。
h、加热部分恢复时,若停电时间较长,快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。
r、在熔体结晶15分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。
j、停炉,充分冷却后拆炉
2)若炉子工作时,加热电源、控制电源同时断电。
a、立即关闭抽空阀门。
b、手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。