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做透射电镜样品钉薄的时候要注意什么

2022.7.15

钉轮直径和钉薄深度的关系
在离子减薄中,因为离子束的入射角都很小,所以要注意钉薄后样品的边缘可能会挡住样品的中心部分,钉轮直径(D),钉薄区域(2r)和钉薄深度(d)的关系近似为:d=r2/D
典型的一个3mm直径样品,抛光后的边缘保留宽0.4mm,这样保证样品有足够的机械强度。所以钉薄区域的直径限制在2.2mm。
如用4°离子入射角,在边缘不挡住中心部分的条件下,可得到的最大钉薄深度为:1.1mm×tan4°=77(μm)。
单面钉薄样品的最佳起始厚度,钉薄区域的直径为2.2mm,起始样品厚度应是钉薄深度加上4倍的损伤层厚度。

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