电子透镜的结构组成
电子透镜有静电透镜、磁透镜和复合电子透镜等三种类型(或分为静电透镜、磁透镜两种类型)。
在一般的电子束曝光系统中，除了电子枪外，基本上都采用磁透镜。但是，在电子束微矩阵曝光以及新型电子显示屏等系统中，静电透镜仍然有着一定的应用。
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电子透镜有静电透镜、磁透镜和复合电子透镜等三种类型(或分为静电透镜、磁透镜两种类型)。
在一般的电子束曝光系统中，除了电子枪外，基本上都采用磁透镜。但是，在电子束微矩阵曝光以及新型电子显示屏等系统中，静电透镜仍然有着一定的应用。
