闭幕式上，日中科学技术交流协会理事长有山正孝先生致辞，祝贺本次会议圆满举办，希望中日双方科研人员以此为契机，进一步加强在该领域的合作和交流，推动双方科研工作的共同发展。
闭幕式后，中科院国际合作局邱华盛副局长会见了中日双方代表。
“中日电子材料研讨会”的召开，推进了中日两国科研人员的学术交流，加深了两国科研人员在“微电子用电子材料”领域的交流，增进了中日两国科研人员的相互了解，为双方科研工作的进一步合作与发展搭建了通畅的平台。提供了良好的开端。
会议期间，日方代表团成员参观了理化所、化学所、清华大学等单位的相关实验室。