AFM 的核心部件——探针
AFM 的核心部件——探针
探针是AFM的核心部件, 它直接决定AFM的分辨率。目前AFM的探针多为硅的氧化物或氮化物, 而轻敲模式中的针尖一般为晶体硅。
氮硅化合物的探针由悬臂和在悬臂末端的尖锐的针尖组成，悬臂的性质和尺度对决定AFM 的灵敏度和分辨率其重要的作用。在接触模式中，这种悬臂要很柔软，以便能检测到非常小的力，并且要有足够高的共振频率来避免震动的不稳定性所带来的影响。因此，这类的探针的悬臂都比较短（共振频率高），而且薄（力常数小）。氮硅化合物探针中一般有四个不同几何学的悬臂，具有不同的弹性系数。
晶体硅的探针同样由悬臂和针尖组成，并且是通过蚀刻技术来完成的。晶体硅的探针只有一个悬臂和一个针尖，这种探针要比氮硅化合物的探针僵硬很多，因此有更大的力常数和共振频率。
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