如何测量半导体材料的光致发光谱
我目前只知道一种仪器，叫TXRF(Total Reflection X-ray Fluorescence)。
其原理是用X光激发原子层电子逃逸，导致外层电子跃迁释放出特征X射线，其可以被接收器（EDX）检测形成能量弥散X射线谱。
其他的不太清楚，X-ray Fluorescence的仪器用的都是这个原理。
还有一种光谱叫电子致发光谱，一般都是配合SEM得到的。
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