现在短波长激光器和大数值的孔径透镜，都已接近目前技术所能达到的极限，并且成本很高。例如，一台深紫外浸没式光刻机的价格达两三千万美元，因此传统技术路线已面临巨大挑战。
对此，干福熹提出了新的研究思路，即通过探索超分辨光学超精密加工的新原理、新办法、新材料和新工艺，利用波长稍长的光波和数值孔径较小的透镜来减小衍射点。
“通过两种或以上超分辨技术的结合，在激光与材料相互作用中实现超分辨率，也是一个重要的突破途径。”在阐述研究思路的同时，干福熹强调：“我国对于突破衍射极限的超分辨技术的研究投入还不够大。而美国国会在2009年就提出，21世纪光学的五大研究计划之首就是突破衍射极限，实现λ/20的光斑直径。我国却没有这方面的规划。”
同时，他强调，国外一些大企业也非常重视对衍射极限的突破，投入了大量经费进行相关研究。因为他们知道，一旦对衍射极限进行了突破，在信息存储等领域将带来大变革，获得很大的经济效益。
“相对来说，我国这方面的技术大多是引进的，几乎被国外知识产权所包围。”干福熹呼吁，我国应有创新性思想，若总是跟在别人后面走，很难有所突破。