Z 衬度像/HAADF-STEM 像
Z 衬度像/HAADF-STEM 像（ Z-contrast Imaging/ High angle annular dark field image,HAADF）
20 世纪 90 年代以来，随着电镜硬件的不断发展，尤其是具有场发射电子枪的超高真空电镜的出现和普及，一种高分辨扫描透射成像技术，即高分辨或原子分辨率的原子序数（ Z）衬度像（ High Resolution or Atomic Resolution），在材料微观分析方面崭露头角，成为当代电子显微技术发展的新领域。 Z 衬度成像也可称为扫描透射电子显微镜高角环形暗场像（ HAADF-STEM， High Angle Angular Dark Field-Scanning Transmission Electron Microscopy）。
在 TEM 中，被高电压加速的电子照射到试样上，入射电子与试样中原子之间发生多种相互作用。其中弹性散射电子分布在比较大的散射角范围内，而非弹性散射电子分布在较小的散射角范围内，因此，如果只探测高角度散射电子则意味着主要探测的是弹性散射电子。这种方式并没有利用中心部分的透射电子，所以观察到的是暗场像。
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