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二次电子像和背散射电子像的区别

2022.2.08

1、性质不同:二次电子像是以入射方向逸出样品的电子。背散射电子像是在扫描电子显微镜中,通过电子枪产生的电子,经过加速磁场、偏转磁场后,照射到待检测的样品表面,待检测样品会反射一部分的电子。

2、特点不同:在扫描电子显微镜的工作镜腔里的背散射电子探头就会检测到这些被反射的电子,进而在检测器上所成的像。二次电子的产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角a ,a大的面发射的二次电子多。

3、特征不同:二次电子像主要是反映样品表面10nm左右的形貌特征,像的衬度是形貌衬度,衬度的形成主要取于样品表面相对于入射电子束的倾角。电子照射到待测样品的过程中,样品能发射一部分电子,背散射电子探头就会检测到这些电子,从而产生相应的电信号。


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