二维扫描振镜 2D MEMS LASER SCANNING MIRROR
MEMS（微机电系统）反射镜是由微型马达驱动的一维或二维小型固态反射镜（片上反射镜）。 指向镜面的激光束被扫描镜精确地偏转和转向，以在特定时间到达目标点。
技术特点：
快速静电（ES）执行器，功耗最低。 ES执行器在镜面的自谐振频率下工作，是高扫描频率（几十KHz）的理想选择。
强而精确的电磁（EM）执行器。 EM执行器非常适用于点对点或慢速扫描模式。
电容式传感器以非常高的精度和快速响应来测量反射镜角度位置。
先进的控制电路和算法对反射镜运动进行连续的严密控制，确保最高的精度，重复性和温度稳定性。
主要特点和优点
联系：伽太科技，sales@gamtic.com
2D单镜 - 最小化光学引擎尺寸并提高光学效率
静电（H）和电磁（V）执行器的组合 - 提高了鲁棒性并优化了性能
宽光学FOV，45°（H）×30°（V） - 提供较大的图像/扫描面积
高灵敏度，动态闭环控制环路 - 即使在环境条件变化时也能保持稳定的峰值性能
静态镜像报警信号 - 支持人眼安全
具有标准数字视频接口的MEMS控制器 - 简化系统设计和集成
非密封塑料包装 - 降低成本
温度稳定性 - 在宽温度范围内的完美图像
技术规格参数:
| Item | Specification | |
| General | Optical angle (H x V) | Typ.: 45x20 Deg. Max: 45x30 Deg. |
| Resolution (HxV) | Typ.: 1280x480 pixels Max: 1280x600 pixels | |
| Pixel position error | +/- 1/5 pixel | |
| Resonance frequency (H) | 10,250 Hz | |
| Resonance frequency (V) | 1800 Hz | |
| Effective mirror size (H) | 1 mm | |
| Effective mirror size (V) | 1.1 mm | |
| MEMS Scanning Module dimensions (L x W x H) | Typ.: 12×6.5×5.9 mm Small: 10×5.5×4.6 mm | |
| MEMS Scanning module power consumption | 70 mW (rms) | |
| Package | Typ.: Plastic, Non-Hermetic Custom: Ceramic, Hermetic | |
| Optical | Throw Ratio | 1.2 |
| Incident angle (H) | 0 Deg. | |
| Incident angle (V) | 15 – 22 Deg. | |
| Mirror reflectance | Typ.: 90-93% (Aluminium coating) Max: 99.5% (High Reflective Coating) | |
| Overall reflectance | 85% (Mirror & Optical window) | |
| Wavelength range for reflection | Typ.: 440 -700 mm Custom: Any wavelength upon request | |
| laser max spot size | 0.7 mm |
