目前，沈阳拓荆科技PECVD产品从4-6吋全自动已经拓展到8吋全自动、2-8吋手动、12吋全自动全系列，除应用在传统的集成电路制造领域外，还成功拓展到光波导制造领域。首台国产12吋PECVD样机已完成3000片工艺测试和10000片可靠性测试，各项指标已经达到设计要求，即将进入国内最大的芯片代工企业——中芯国际进行在线测试。
进入在线测试，是进一步完善样机的有效途径，是产品走向市场的必由之路。这不仅是拓荆公司发展的重要里程碑，也是辽沈地区乃至我国大半导体产业发展的重要见证。产品推向市场后，将改变我国相关高端设备依赖进口的局面;培养并带动产业链共同发展;对调整传统产业结构、创造新的经济增长点、推动大半导体产业发展具有重要的意义。