PlasmaPro NGP1000 PECVD，一PlasmaProâ NGPâ1000蚀刻，以及PlasmaPro System133
ICP380和附件，这三种设备已安装在专用的牛津仪器光电实验室，为下一个阶段做准备。
工业技术研究院副院长Shing-Yuan
Tsai博士评论："在材料化学技术和纳米技术领域，工业技术研究院与台湾及世界各地的著名企业合作，发展和促进高增值产业的建立和纳米技术应用于传统产业。我们和牛津仪器的合作清楚地表明，我们的研究水平和设备是世界一流的，两个机构间合作是互利的。"
牛津仪器等离子技术部亚洲区销售总监Jeffrey
Seah非常认可此项合作，他说："牛津仪器公司作为蚀刻、沉积及生长设备的世界领先者，和工业技术研究院已建立合作关系，成功地为工业技术研究院无尘室安装了先进设备。牛津仪器公司的主要目标之一是追求负责任地发展和通过科技更深入地了解世界，此次与如此著名的研究机构合作项目正是为实现这一目标。"