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真空等离子体清洗机,等离子体处理系统

2021.4.18

真空等离子体清洗机,用于批量处理的超大腔体等离子体处理系统,真空等离子清洗机通过广泛的研究和开发,提供独特的真空和气体流动技术.

真空等离子体清洗机:使用脉冲RF来增强等离子体聚合膜的性能,是原型,先导或生产加工基材的理想选择。可靠性和工艺质量与达因旆独特的搁架设计和等离子体中发现的反应离子的优化应用相结合,提高了处理均匀性,同时缩短了处理时间。用于处理所有类型零件和部件的成本和空间有效的真空等离子体处理机。等离子体室由11号不锈钢和铝制固定装置构成,具有出色的耐用性。该腔室具有多个可拆卸和可调节的架子,可容纳一系列部件,可容纳多达14个电极位置。PD-1000标配配备两个质量流量控制器,用于zui佳气体控制。

SPV真空等离子体清洗机:是一种有效的等离子体处理系统,具有用于批量处理的超大腔体。它使用脉冲40KHz射频发生器来增强等离子体聚合膜的性能。是一种经济的真空等离子处理机,用于处理清洗各种零部件。泵,腔室,控制电子器件和RF发生器都包含在其外壳内。 SPV等离子清洗机系统提供滑出水平货架,便于装卸。其紧凑,服务友好的设计占地面积小,专为从系统前后的维护而设计。因此,多个真空等离子体处理系统可以并排放置,以zui大化占地面积利用率。泵定位在辊子上,便于拆卸。控制系统可以在多个级别进行密码保护,以防止未经授权的配方修改。这确保系统从*批到zui后一次的性能一致。等离子体处理系统结合了系统的可靠性和工艺质量。等离子体室容纳多达14个电极工作架,并且能够实现比常规真空等离子更多的体积和更大的衬底处理。配有四个质量流量控制器,用于zui佳气体控制。

离子体处理系统:大型等离子体处理腔来处理大基板或许多较小的基板。使用单步过程提供业界的等离子体均匀性。是一个独立的系统,具有节省空间的紧凑型机箱,具有易于访问的前负载门,并且容纳真空系统,等离子体室,控制电子设备和13.56MHz电源。快速真空泵下降并大大提高了工艺循环时间,进一步增加了系统的吞吐量和生产率。PD-Pro系统标配配备四个质量流量控制器,用于zui佳气体控制和zui多13个垂直基板处理单元。

通过广泛的研究和开发,提供独特的真空和气体流动技术,新的电极设计和的温度管理。这些关键设计元素和工艺配方参数的仔细平衡提供了一种系统,可为关键应用程序创建zui统一的处理。

在PCB制造过程中为大型柔性或刚性面板的回蚀,去污和表面活化提供出色的等离子体处理均匀性,等离子体处理均匀性是HDI,柔性和刚性电路板制造的解密和回蚀应用中的关键操作要求。等离子体可以提供比化学或机械过程更高的均匀性和再现性。SPA系列等离子体处理系统采用等离子体技术,在高通量下产生优异的均匀性。

用于大面积真空等离子体清洗机的SPV系列可提供各种室尺寸,可选择垂直或水平面板配置。定制配置可用于大型和厚板面板要求。行业验证的等离子体技术在层压之前提供优异的表面处理均匀性,以提高粘附性和可靠性。的设计,经济的天然气消耗,占地面积小以及有吸引力的系统定价都有助于降低拥有成本。容易装载和多功能机架允许zui大的吞吐量,单级等离子体处理和容量选项,可为广泛的PCB制造要求提供出色的产量。




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