离子束加工跟等离子体加工的原理有何不同
1、离子束加工的基本原理
所谓离子束抛光，就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中，用高频电磁振荡或放电 等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用 5 千至 10 万伏高电压对这些正离 子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能 量密度离子流， 在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工 件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法对工件表面进行深度从 100 埃到 10 微 米左右的精密加工。
2、等离子体加工的基本原理
等离子体加工又称为等离子弧加工，是利用电弧放电使气体电离成过热的等离子气 体流束，靠局部熔化及气体去除材料的。等离子体又被成为物质的第四种状态。 等离子体是高温电离的气体，它由气体原子或分子在高温下获得能量电离之后，理 解成带正电荷的离子和带负电荷的自由电子，整体的正负离子数目和正负电荷仍相等， 因此称为等离子体，具有极高的能量密度。
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