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象散的如何聚焦和消像散

2023.9.27

消像散和聚焦是需要熟练掌握的操作,稍有不慎图像质量就会明显下降。出现象散的原因主要是电子束难于聚焦,使象散方向发生变化。聚焦是通过粗,细聚焦按钮调节的。消象散是通过X.Y方向的消像散钮调整图像清晰度。聚焦与消象散相互交替进行,调整时,先从低倍开始。逐步提高倍率,直到图像最清洗为止。
方法如下:
观察一万倍以上时,要进行消象散,先粗聚焦,然后在焦点附近做欠焦,正焦,稍过焦操作。在欠焦和过焦时像被拉长,而且欠焦和过焦时拉长方向是垂直的,在正焦时像不被拉长但不清晰。此时正焦情况调节消像散器的方位和大小,直至图像最清晰为止。然后从做欠焦,正焦,过焦操作。如果图像没有被拉长说明象散已经被消除。此时可进行聚焦,由于扫描电镜在改变放大倍率时候焦点不变,因此,聚焦时候通常把放大倍数放在拍摄或者是观察时候使用的倍数的2-3倍进行,这样更容易判断是否正焦。调节聚焦旋钮至图像最清晰就是正焦。移动样品后,样品高度将发生变化,此时必须重新聚焦。

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