离子探针分析仪特点
离子探针分析仪有以下几个特点:
1. 由于离子束在固体表面的穿透深度(几个原子层的深度)比电子束浅,可对这样的极薄表层进行成份分析。
2. 可分析包括氢、锂元素在内的轻元素,特别是氢元素,这种功能是其它仪器不具备的。
3. 可探测痕量元素(~50×10-9,电子探针的极限为~0.01%)。
4. 可作同位素分析。
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离子探针分析仪有以下几个特点:
1. 由于离子束在固体表面的穿透深度(几个原子层的深度)比电子束浅,可对这样的极薄表层进行成份分析。
2. 可分析包括氢、锂元素在内的轻元素,特别是氢元素,这种功能是其它仪器不具备的。
3. 可探测痕量元素(~50×10-9,电子探针的极限为~0.01%)。
4. 可作同位素分析。