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莱伯泰科这款ICP-MS荣获半导体领域国产 ICPMS 先行者Antop奖

2023.6.25

伴随着夏日骄阳,又到了一年一度的Antop奖揭晓时刻。历经全网投票和专家评审后,莱伯泰科申报的LabMS 3000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪正式获得ANTOP奖——半导体领域国产 ICPMS 先行者。

奖项名称:半导体领域国产 ICPMS 先行者

奖项主体:LabMS 3000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪

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申报理由

随着半导体制程的缩小,半导体行业无机杂质元素检出限量低至ppt级,对ICP-MS的产品性能(检出限、长期稳定性、长期可靠性等)要求极为苛刻,可在传统行业成熟使用的ICP-MS较难应用于半导体行业,市场被国外产品长期垄断。</p><p>莱伯泰科LabMS 3000s ICP-MS专为半导体行业设计,通过了SEMI S2认证,其高性能冷等离子体结合加强离子传输系统,提供了ppt级别的检出水平;稳定可靠的ICP离子源带来极高的系统稳定性,确保了仪器可以24h不间断稳定安全运行。莱伯泰科ICP-MS已在国内某头部集成电路制造企业通过验证,填补了国产ICP-MS在半导体领域的空白,打破了国外厂商的长期垄断,助力半导体检测设备国产化替代进程。

关于ANTOP奖项

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  1、您的突出成绩有利于推动分析测试行业的正向发展;

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  ANTOP奖项自2017年开启以来,得到广大同仁的热烈响应,经过紧张激烈、专业严格的奖项申报、网络评审、专家审核三大环节,各大厂商最终迎来他们的闪耀时刻。

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