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“独”得之见，优尼康携“明星”亮相BCEIA展会

2021.10.11

　　分析测试百科网讯在第十九届北京分析测试学术报告会暨展览会上，优尼康科技有限公司（以下简称“优尼康”）展出了一系列具有代表性的膜厚仪、光学轮廓仪等产品。分析测试百科网作为大会支持媒体，全程跟踪报道。

　　优尼康现场展台

　　优尼康成立于2012年，一直潜心专注于薄膜厚度与表面轮廓测量领域，为半导体、面板等高科技企业和科研院校提供精密测试设备。十年磨一剑，过去的十年里优尼康一直在薄膜测量领域不断探索，在本次展会上，优尼康团队展出了膜厚仪、台阶仪、光学轮廓仪等几款“明星”产品。这些产品应用领域广泛，在用户中拥有较高的重复采购率，在市场中充分考虑到了实际应用需求，脚踏实地的沉稳风格使得优尼康在同类厂商中脱颖而出。以下是代表型产品F20系列膜厚仪、F50系列膜厚仪与Profilm3D光学轮廓仪。

　　F20系列膜厚仪

　　Filmetrics F20 膜厚仪与配套PC测量系统

　　F20膜厚仪（全称：薄膜厚度测量仪）作为最通用的台式测厚仪器，已被广泛开发出上千种用途。它可以单点测量样品的厚度、折射率、反射率和穿透率，更支持测量多层膜、气态膜、液态膜等。配套软件可在几分钟内完成安装，并且在几秒内得出测试结果。主要应用于测量光刻胶厚度、镀铬玻璃PR胶厚度、手机背壳硬化层厚度、PET及柔性材料光学膜、载玻片上有机涂层厚度、PC或玻璃上涂层厚度等。

　　F50系列膜厚仪

　　Filmetrics F50 膜厚仪

　　F50膜厚仪相比于F20系列依靠先进的测量系统，可以更简单快速地获取更大直径样品薄膜厚度分布图。样品最大直径可达到450毫米。F50采用r-θ极坐标移动平台，可以快速定位所需测试的点并迅速测试厚度，每秒能测试近两个点。用户可以自己利用配套系统绘制自己需要的点位地图。同时F50系统也配置了高精度、使用寿命长的移动平台，确保能够达到上万次测量。其主要可应用于测量液晶面板PI膜、金刚石厚度、铌酸锂厚度、硅上多晶硅、光学镜片反射率测试等。

　　Profilm3D光学轮廓仪

　　Profilm 3D光学轮廓仪

　　Profilm3D光学轮廓仪（全称：白光干涉光学轮廓仪）采用白光共聚焦、白光干涉原理，使用最新建的垂直干涉扫描（WLI）与高精度的相位干涉（PSI）技术，实现了次纳米级非接触式的表面形貌测量。不仅能测量样品形貌尺寸（深度，宽度等）、台阶高度、粗糙度（兼容IS0 25178），更是在z轴测量精度达到了0.1nm。其主要应用于样品粗糙度测量；三维形貌表证；台阶高度测量等。

　　近年来，随着半导体科技和膜技术的蓬勃发展，表面测量的需求与要求也逐渐提高。这些产品更是渗透到我们生活的方方面面。从眼睛表面的镀膜，到衣服皮包表面的涂层；从手机里处于稳定环境中的芯片，到新能源汽车里处于不稳定环境中的控制系统，都与半导体科技和膜技术有着千丝万缕的联系。优尼康多年专注探索这一领域，同时，也将矛头对准新型材料。据悉，为弥补国内缺少对新型材料的标准，优尼康目前正在与国家计量院合作，为降低新型材料测量门槛做出自己的贡献。

　　今后，优尼康表示在薄膜厚度与表面轮廓测量领域有一份更朴实的展望：以更上乘的服务与测量技术，帮助更多行业内的工作者，与大家共同成长、共同进步、共同发展。