介电损耗扫描探针显微镜及其测量方法
该显微镜包括有ＰＺＴ扫描管，导电金属探针及下表面具有导电层的非导电样品、扫描隧道显微镜控制器、频率信号发生和相位检测器、前置放大器和微型计算机。采用具有较小或不要直流分量的交流偏压方法，在探针和被测样品间电容或介电损耗角随频率变化的曲线峰值附近或斜率变化最大处，选择若干个工作频率，用电容（以电压表征）和交变电流落后于交变电压的滞后相角作为二维图像的反馈量和显示量。在探针的一次二维扫描中可同时获得被测物的表观电容二维图和表观介电损耗二维图，由该两图的减法运算可得到试样的真正的介电损耗二维图。在介电损耗二维图中显示出了在用其它方法所未能显示出的介电结构、特别是界面的细节。
主权利要求: 一种介电损耗扫描探针显微镜，包括有ＰＺＴ扫描管、导电金属探针、扫描隧道显微镜ＳＴＭ控制器、前置放大器、频率发生和相位检测器、下表面具有导电层的非导电被测样品和微型计算机系统，其特征是在导电金属探针或样品上连接可调节直流分量偏压及交流载波的频率信号发生器和相位检测器，频率信号发生和相位检测器还同时与扫描隧道显微镜控制器和微型计算机系统相连接。
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