ISO14644《洁净室及其相关受控环境》标准组成
文件名
题目
状态
简介
ISO14644-1
通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类
2015
涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类
ISO14644-2
监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
2015
指定监控和定期测试洁净室或洁净区的要求，以证明其继续符合ISO14644-1
ISO14644-3
测试方法
2005
指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法
ISO14644-4
设计、建造和启动
2001
指定洁净室安装的设计和构造要求
ISO14644-5
运营
2004
指定洁净室运行的基本要求
ISO14644-7
分离装置（清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境）
2004
指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求
ISO14644-8
按化学物浓度（ACC）分类的空气洁净度
2013
涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物（AMC）的分类
ISO14644-9
通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类
2012
通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类
ISO14644-10
按化学物浓度对表面清洁度进行分类
2013
根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统
ISO14644-12
通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南
2018
根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测
ISO14644-13
对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度
2017
用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度
ISO14644-14
根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性
2016
指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法
ISO14644-15
通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性
2017
将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南
ISO14644-16
提高洁净室和净化设备能效的实施指南
2017（在编）
为新建和现有的洁净室、洁净区和分离设备提供优化能源使用和保持能源效率的指导和建议
-
仪器推荐
-
仪器推荐
询底价 Tel：400-6699-117 转 5224 -
仪器推荐
-
仪器推荐
-
仪器推荐
-
标准
