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真空等离子体清洗设备模型和配置,有效的等离子体处理

2021.4.18

  真空等离子体清洗设备是一种有效的等离子体处理,有一个特大的腔室进行批量处理,它是一种成本和空间效率高的真空等离子处理机器,用于处理各种部件和部件.

     SPV型真空等离子体清洗系统是台式的,完全独立的,需要zui小的工作台空间。该系统的底盘有等离子室、控制电子、13.56 MHz的射频发生器和自动匹配网络(只有真空泵是系统外部的)。维护访问是通过一个相互连接的门或可移动的面板提供的。等离子体腔体支持7个可移动和可调节的动力或接地的架子,以适应各种各样的部件、组件和包括杂志、托盘和船只在内的部分载体。真空等离子体处理系统可以容纳大量的过程气体,包括氩、氧、氢、氦和氟化气体。这两种模型都带有两个电子质量流控制器以达到的气体控制,另外两个可以随意选择(4个总zui大值)。用于验证过程中使用的定期校准要求的便利设施连接。

   SPV真空等离子体清洗系统,前访问允许方便地访问所有内部组件。该泵的定位是滚轴,便于拆卸。该等离子体室由11个规格的不锈钢材料制成,具有坚固耐用的耐用性。该房间有多个可移动和可调节的架子,以容纳各种各样的航空公司,包括杂志、托盘、威化和船只。采用可选高吞吐量货架的SPA等离子处理系统,结合了等离子处理系统的可靠性和工艺质量,并证明了独特的货架设计的优点,优化了在射频等离子体中发现的活性离子的使用,提高了处理均匀性,同时降低了工艺时间,等离子处理系统允许从一系列的过程气体中选择,如氩、氢和氦。该标准配备了4个质量流量控制器,用于zui优气体控制。有槽的杂志是垂直放置在房间内的。

   此外,开槽的空隙可以垂直放置在腔体内。一般来说,每个腔体至少有20个铅框架。根据真空等离子机腔体的大小,等离子室可以容纳多达12个腔体空隙。

   等离子体SPC-1500真空等离子体清洗设备是一种有效的等离子体处理,有一个特大的腔室进行批量处理。它是一种成本和空间效率高的真空等离子处理机器,用于处理各种部件和部件。它是完全独立的,并且需要zui少的地面空间。泵、室、控制电子和13.56 MHz的射频发生器都包含在它的外壳内。等离子体处理设备也提供滑出水平的货架,便于装卸。它的紧凑和服务友好的设计有一个小的占地面积,并且是为系统的前后维护而设计的。因此,可以将多个真空等离子体处理系统并排放置,以zui大限度地利用地板空间利用率。该泵的定位是滚轴,便于拆卸。




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