扫描电子显微镜的背散射电子检测
背散射电子(BSE)由一次电子产生的高能电子组成，这些高能电子通过与样品原子的弹性散射相互作用被反射或反向散射出样品相互作用区域。由于重元素(高原子序数)的背散射电子比轻元素(低原子序数)更强，因此在图像中衬度更亮，因此BSE被用于检测具有不同化学成分的区域之间的对比度。[28] 埃弗哈特-索恩利检测器通常位于样品的一侧，由于在检测器正对的立体区域中很少发射这种电子，而且由于正偏压的探测栅极几乎没有能力吸引更高能量的BSE，所以其在检测背散射电子时十分低效。背散射电子的专用探测器在样品上方呈“甜甜圈”型排列，与电子束同轴，这可以使立体收集角最大化。BSE探测器通常是闪烁体型或半导体型。当探测器的所有部分都用来收集关于电子束对称的电子时，就会产生原子序数对比。然而，通过使用不对称的定向BSE检测器从样品上方的一侧收集背散射电子，就会产生强烈的形貌对比；由此产生的对比度表现为从该侧照亮表面。半导体探测器可以做成辐射状，可以切入或切出，以控制产生的对比度类型及其方向性。
背散射电子也可用于形成背散射电子衍射(EBSD)图像，该图像可用于确定样品的晶体结构。
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