扫描电子显微镜的半导体的电子束注入分析
扫描电子显微镜的探针——高能电子的性质使其特别适合于检查半导体材料的光学和电子特性。扫描电镜电子束中的高能电子将把载流子注入半导体。因此，电子束中的电子通过使电子受激从价带进入导带而失去能量，留下空穴。
在直接带隙材料中，这些电子-空穴对的复合将产生阴极射线发光；如果样品含有内部电场，如pn结，SEM中的载流子注入将导致电子束感应电流(EBIC)流动。 阴极射线发光和EBIC被称为“电子束注入”技术，是研究半导体光电特征的非常强大的探针，尤其是用于研究纳米级特征和缺陷。
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