TEM系统组件
TEM系统由以下几部分组成：
l 电子枪：发射电子。由阴极，栅极和阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速后射向聚光镜，起到对电子束加速和加压的作用。
l 聚光镜：将电子束聚集得到平行光源。
l 样品杆：装载需观察的样品。
l 物镜：聚焦成像，一次放大。
l 中间镜：二次放大，并控制成像模式（图像模式或者电子衍射模式）。
l 投影镜：三次放大。
l 荧光屏：将电子信号转化为可见光，供操作者观察。
l CCD相机：电荷耦合元件，将光学影像转化为数字信号。
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