X射线荧光光谱仪特点及应用
1.优点:
设备相对简单。
可以在大气中工作，灵敏度高。
2.缺点:
X射线入射深度较大，因而当薄膜厚度在微米级以下时，常规射线技术在测定薄膜结构和成分信息时没有优势。
如:实验使用Cu靶X射线的波长约为0.15 nm，其在固体中的穿透厚度一般在100~10000 m之间，然而一般薄膜厚度通常在10~100 nm。这时X射线穿透深度远大于样品薄膜厚度，因此常规的X射线荧光法衬底的干扰很大，很难实现对纳米级薄膜进行成分分析。所以，需要控制X射线的入射角度，减小入射深度，减轻衬底信息的干扰。
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