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XPS谱图能量校准

2018.7.27

XPS的定性分析和价态分析都是基于光电子谱图中峰位置的能量值。为确保分析的准确性,XPS仪应定期(每工作几个月或半年)进行能量校准。

能量校准方法:在实际的工作中,一般选用碳氢化合物(CH2)n中的污染峰C1s峰作参考进行调节,(CH2)n一般来自样品的制备处理及机械泵油的污染。也有人将金镀到样品表面一部分,利用已知能量值的金标样峰Au 4f7/2 进行谱线修正。


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