电子能谱分析
电子能谱分析方法是20世纪70年代以来迅速发展起来的表面成分分析方法。这种方法是对用光子（电磁辐射）或粒子（电子、离子、原子等）照射或轰击材料（原子、分子或固体）产生的电子能谱进行分析的方法。其中俄歇电子能谱、光电子能谱、X射线光电子能谱和紫外光电子能谱等对样品表面的浅层元素的组成能给出比较精确的分析，同时还能在动态的条件下测量薄膜在形成过程中的成分分布、变化。电子能谱是已经得到广泛应用的重要分析方法。
一切固体，无论是天然的还是人造的，都有表面或界面，它是物质存在的一种形式。它的存在破坏了物体体相的连续性，从而形成了最大的晶体“缺陷”，这种“缺陷”赋予物质表面（界面）以一种不同于体相的特殊性，对这种特殊性的研究是生产和科学技术发展的需要（如半导体材料的研究和生产）。对物质的表面化学组成及结合状态、表面吸附形态以及表面结合能的研究形成了表面科学的主要内容，而电子能谱分析正是研究和探索物质表面科学最直观和最有效的方法。
电子能谱分析是一种研究物质表面或界面的新型物理方法。它是多种技术集合的总称，其共同特点是：利用具有一定能量的电子束或单色光源（如x射线、紫外光等）照射样品，使样品表面的原子或分子中的电子受激发而发射出来，这些电子带有样品表面的各种信息，具有特征能量，收集和研究这些电子的能量分布，可以获得有关样品表面的各种信息，从而有利于对物质表面进行研究。电子能谱分析是研究和探索物质“表面科学”最直观和最有效的方法。
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