xps电子能谱图中前三个峰代表什么意思
这前三个峰指的是用电子能谱分析样品表面时，所对应元素的含量。因为是表面分析所以深度只有0.5~0.7nm，因此峰面积指的不是样品中元素总含量。
从结合能值和谱峰形状看，为+3价Fe。2p3/2和2p1/2：2指主量子数n=2，而p表示l=1（s、p、d、f分别表示角量子数l=0，1，2，3）。原子中的电子既有轨道运动又有自旋运动。
主要功能
结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。
XPS（X射线光电子能谱）的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。
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