什么是XPS?

　　X射线光电子能谱仪(X-ray Photoelectron
Spectroscopy，简称XPS)是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面(2～3nm深度)元素成分和价态的定性和定量分析，与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，也可以用于固体表面元素成分及价态的二维面分析和深度剖析，在纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、各类功能薄膜的机理研究、催化剂研究与失效等方面具有不可替代的作用。