MEMS技术的实质是半导体工艺，可以将三极管的尺寸做到比硅粒还要小，利用该项技术可以研制出基于半导体工艺的一些器件，例如轰动一时的小型直升飞机、小型齿轮的推出等。MEMS技术最大的优势在于可将所有的器件不仅能够呈现出一层，还可实现多层丰富的立体结构。

　　杨教授告诉我们，当今MEMS技术最有代表性的部件为压力传感器，MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

　　MEMS与高分子化学技术的结合

　　第二大里程碑则是MEMS与高分子化学技术的结合。仅仅采用半导体工艺研制的芯片不能完全满足化学家和生物学家的要求，化学材料芯片(即高分子芯片)的问世是微全分析领域的一项突破性进展，现已成为微全分析系统的核心器件。