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真空泵的特点、分类和保养

2021.2.08

真空泵是一种旋转式变容积气体输送泵,真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感,广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
 
      真空泵特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
 
    真空泵的分类
(1)按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
(2)按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。
 
   选用真空泵时,需要注意下列事项:  
(1)真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
(2)正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,
(3)真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。  
(4)正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵或二极型非对称阴极溅射离子泵对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。   
(5)真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,
(6)了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
(7)真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。   
(8)真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。
(9)真空泵的价格、维修费用及售后都要在我们的考虑范围。

 




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