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扫描电子显微镜样品的处理及表面形貌

2018.6.27

对待扫描样品进行什么处理?  

对样品表面进行导电处理,常用导电处理法包括:真空镀膜法和离子溅射镀膜法。本次采用离子溅射镀膜法。即在低真空状态下,在阴极与阳极两个电极之间加上几百至上千伏的直流电压时,电极之间会产生辉光放电。在放电的过程中,气体分子被电离成带正电的阳离子和带负电的电子,并在电场的作用下,阳离子被加速跑向阴极,而电子被加速跑向阳极。如果阴极用金属作为电极,那么在阳离子冲击其表面时,就会将其表面的金属粒子打出,这种现象称为溅射。此时被溅射的金属粒子是中性,即不受电场的作用,而靠重力作用下落。如果将样品置于下面,被溅射的金属粒子就会落到样品表面,形成一层金属膜。 

 表面形貌衬度观察有什么应用?  

扫描电镜图像表面形貌衬度几乎可以用于显示任何样品表面的超微信息,其应用已渗透到许多科学研究领域,在失效分析,刑事案件侦破,病理诊断等技术部门已得到广泛应用。在材料科学研究领域,表面形貌衬度在端口分析等方面显示有突出的优越性。利用试样或构件断口的二次电子像所显示的表面形貌特征,可以获得有关样品的表面形貌信息。根据表面的微观形貌特征可以分析样品的颗粒度。


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