扫描电镜SEM与电子探针EPMA对比总结
一、EPMA相对于SEM，(平台方面)：
1.可以大束流，计数率与束流成正比；
2.束流控制和稳定性更好；
3.EPMA有光学显微镜控制样品高度。
二、EPMA(WDS)与EDS，(EPMA标配WDS，SEM选配EDS)：
1.EPMA分辨率比EDS高一个数量级；
2.EPMA的灵敏度优于EDS，测试微量元素时效果更好；
3.EPMA检出限更低；
4.EPMA是有标测试，精度高。
三、EPMA与SEM+WDS，(SEM选配WDS，与EPMA标配WDS)：
1.WDS(SEM)是单通道，1个检测器配4个分光晶体，测试时旋转晶体。EPMA可以5个通道5个检测器同时测试，效率更高；
2.单通道时，方位受限；
3.由于SEM的小束流，灵敏度低，低含量元素测试受限；
4.EPMA检测限更低；
5.SEM+WDS低倍测试不能（最低40X左右），EPMA可分性区域更大（样品台扫描）。
四、SEM+EDS优势：
1.更好的电子图像质量（二次电子分辨率、锐度方面等更好）；
2.SEM+EDS更快速的半定量解析；
3.分析过程更简单一些。
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