关于薄膜锂电池结构的研究
薄膜锂电池采用经典的叠层结构,这种电池结构简单,加工容易。但为了进一步提高电池的性能,对薄膜锂电池结构的研究逐渐增加,特别是3D结构的薄膜锂电池由于其良好的性能预期而成为研究热点。在薄膜锂电池的3D结构的类似多孔结构的3D电池,这种电池是在硅基体上加工很多规则排列的微孔,在微孔内沉积Li扩散阻隔层TiN,然后以硅为负极,LiPON为电解质,LiCoO2为正极制成电池。
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