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轮廓仪主要参数

2021.4.30

  导轨直线性系统精度:ㄑ0.2μm / 60 mm

  测量长度:ㄑ100mm

  Y 量 程:4mm

  电感传感器:1 / 4096

  光 栅 尺:X向分辨率1μm,全长误差±1.5μm

  可测零件直径:内圈ㄑ300 mm,外圈可较大

  气源压力:ㄒ0.45Mpa

  环境要求:温度:10~30℃;相对湿度:<85%

  功率需求:约400W;交流220V±10%,50Hz

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