三、大会特邀报告及大会报告
四、分会及主题
1、纳米结构及其力学、电学等性能研究；
2、纳米材料的制备技术与性能研究；
3、纳米材料自组装技术；
4、MEMS器件与系统；
5、纳米器件与系统；
6、微/纳制造技术；
7、纳米制造装备新原理和纳米制造精度与测量；
8、纳米材料表征与纳米器件检测；
9、微/纳器件与系统的应用；
10、其他。
五、展览会展区
六、会议食宿及交通
1、就餐。由大会统一承担和安排。
2、住宿。大会提供、代表自选、费用自理。入住标准如下：
四星级 □ 豪华标间 320元/天·间
□ 标间 260元/天·间