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扫描电镜的电子枪作用以及构成学习篇

2020.7.14

  电子枪由阴极(灯丝)、栅极和阳极组成。阴极采用能加热的钨丝,栅极围在阴极周围,被加热了的钨丝放出电子,电子来并在阳极和阴极之间施加高压, 形成加速电场,从而使电子得到了能量——加速前进。一般来说,实际加速电压可以用10~30 kV。有灯丝发射出的电子束,经栅极的负电位调整,控制其发散,形成稳定的束流,然后再向阳极发散开去。

  电子枪的作用就是产生连续不断的稳定的电子流。实际上可以把电子枪看作一个静电透镜,因而使得电子束在阳极附近会聚成一个小的交叉点。

  交叉点的直径依电子枪的设计而异,大约为10~100 μm,由灯丝发出的电子束流强度为数十微安,交叉点的电流密度为10A/cm2左右。

  加速电压是直流电源,它是将适当频率的电源或高频交流进行升压,再整流及稳定化而做成的负高压直流电源。

  阴极是用直径为0.12 nm的钨丝制成的,大多数做成V形。

  为了进一步提高电子枪的亮度,即提高电子发射率,以及缩小电子束的直径,提高分辨率,电子枪的改进是很重要的。

  文章链接:仪器设备网 https://www.instrumentsinfo.com/technology/show-2247.html


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